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技術文章
奈米纖維是近年來備受矚目的新材料，其有高強度、輕量、環保等優點。 不同官能基的奈米纖維在界達電位下也有截然不同的表現性質。
當晶圓進行研磨或蝕刻減薄厚度時，進行即時厚度監控；可於線上確認研磨厚度，不須停機確認，提高製成效率。
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