21Sep.2023
膜厚儀

光干涉原理是什麼?5大應用範疇,專家帶你深入了解!

目錄
1.光干涉是什麼?認識原理 深入運用
2.光干涉2大類型介紹
3.光干涉應用有哪些?5大範疇 領域廣泛
4.光干涉應用儀器推薦

光干涉原理,可涉及到光學、材料科學等多個學科。且在各種技術和工業領域中,也都有著廣泛的應用,例如:光學儀器的校準、生物醫學成像與精密的物質測量等。當兩束或多束同頻率的光波在相同的空間中重疊時,由於它們的相位差異,會產生明暗交替的干涉條紋。而這種現象不僅揭示了光的波動性,更為現代科技帶來了無數的校準與應用的可能性!
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光干涉是什麼?認識原理 深入運用

所謂的「光干涉」,是指光波在空間中相遇或疊加時,由於光波特性而產生的干涉現象。而「光干涉」是一種波動現象,此現象可以用「波動光學理論」來解釋,其核心概念包括以下幾點: 
  • 光波的疊加

光波是一種電磁波,具有振幅、波長和頻率等特性;當兩個或多個光波相遇時,它們的振幅會簡單相加,形成新的「合成波」。
  • 相位差

在光波疊加時,如果兩個波的相位(即波的起始位置)不同,就會發生相位差。相位差,決定了光波疊加後的合成波的振幅,從而影響干涉現象的結果。
  • 干涉條紋

當兩束光波疊加時,若其相位差是固定的並且在一定範圍內變化,就會形成「干涉條紋」。「干涉條紋」是指明暗相間的波紋狀圖案,是因為光波的疊加和相位差影響而產生。
  • 自然界中常見的干涉現象

光通過於空中的氣泡後,所產生的干涉現象。

光干涉2大類型介紹

類型 說明
建設性干涉 建設性干涉發生在光波疊加時增強振幅,形成明亮的區域
破壞干涉 破壞干涉則是振幅相消,形成暗淡的區域;光的波長越大,形成的干涉圖案亮紋寬度會越大

光干涉
光干涉應用有哪些?5大範疇 領域廣泛

光干涉原理,在許多領域都有應用,例如:干涉儀器、干涉光柵等。而著名的干涉實驗有:楊氏雙狹縫實驗和邁克生干涉儀(Michelson interferometer)。 這些實驗和應用,皆有助於研究光波的性質,以及應用於測量、圖像處理和科學研究等領域。光干涉原理可應用於多種檢測和測量領域,常見的應用有以下5種:
  • 薄膜厚度測量

光干涉技術,可以用來測量透明薄膜的厚度。可通過觀察干涉條紋的變化,來推斷薄膜的光程差,從而確定其厚度。適用於:透明光學材料薄膜的量測。
  • 折射率測量

光干涉技術,可以通過測量材料中光的相位差來計算折射率,對於在材料研究、光學元件製造等領域非常有用。
  • 表面形狀測量

光干涉,可以用於測量物體表面的形狀、高度差、凹凸度等。並經由分析干涉條紋的變化,得到物體表面的形狀等資訊。適用於:製造業中的精密表面質量檢測。
  • 光學元件檢測

光干涉技術,可以用來檢測光學元件的性能,如:透鏡的曲率、平面度,光柵的參數等。
  • 其他應用

氣體濃度測量、機械震動與變形測量、非破壞性材料檢測與生物醫學等領域,皆被廣泛的應用。

光干涉應用儀器推薦

以光干涉法來量測薄膜厚度及折射率等技術,目前已十分成熟。尤其是在半導體光學元件、光學薄膜的製程或材料的研發實驗室裡,皆可見到顯微分光量測儀。而非接觸式的量測可同時量測反射率、膜厚及光學係數;達到即時監控的目的,且不會傷害樣品,快速且精準的達成量測目標。

【10分鐘了解光學膜厚】

 

光干涉法量測膜厚原理說明

膜厚是多個產業都需要監控的物性值,以光學式可以達到快速、非破壞、高精度、聚焦小面積等特性,為您介紹光干涉法的原理以及適用範圍。

👉重點段落
0:00 為什麼要量測膜厚?
0:57 膜厚量測的各種方法
2:02 光學如何量測膜厚?
5:11 顯微分光膜厚計OPTM
6:01 專利鏡頭高精度量測以及光學膜厚量測波段選擇
7:43 高速與聚焦小光斑量測
8:25 反射式顯微分光vs橢圓偏光儀

光學式膜厚計的準確度,可以根據不同的儀器類型、設計和製造品質而有所不同。一般來說,光學式膜厚計的準確度,分為以下6個面向:

👉 分辨率(Resolution)

指儀器,能夠區分的最小膜厚變化。高分辨率的膜厚計,能夠檢測較小的膜厚變化,提供更精確的結果。

👉 靈敏度(Sensitivity)

靈敏度,是表示儀器對膜厚變化的敏感程度。擁有較高的靈敏度,就意味著儀器可以檢測到較小的膜厚變化,從而提高測量的準確度。

👉 測量範圍(Measurement Range)

測量範圍,指的是儀器可以測量的膜厚範圍。通常,較大的測量範圍可應對不同厚度的薄膜樣品。但在極端情況下,測量範圍過大可能會影響準確度。

👉 校正

光學式膜厚計的準確度,還會受到校正的影響。定期的校正,可以確保儀器的準確性。因為光學元件和訊號處理系統,可能會隨著時間變化或受到環境影響而產生誤差。

👉 光源穩定性

儀器所使用的光源穩定性,對準確度來說也很重要。光源的穩定性,可直接影響到干涉條紋的穩定性,從而影響膜厚計的準確度。

👉 材料特性和複雜度

膜厚計的準確度,也取決於被測量材料的特性和複雜度。不同的薄膜結構,可能會導致不同的干涉模式,是需要適當的方法來處理。
OPTM產品頁


顯微分光膜厚量測儀OPTM,在薄膜的膜厚量測上有優異的表現,從1奈米薄膜的厚度、到數十微米厚膜量測;具備多層膜堆疊結構、長時間量測穩定性、不受透明基板背反射影響等等,相較於傳統橢圓偏光儀快速且精準的量測頗為業界推崇。想知道更多關於光干涉的相關資訊,也可以技術文章看看喔!
 

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