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21Sep.2023
膜厚儀
光干涉原理是什麼?5大應用範疇,專家帶你深入了解!
目錄 1.光干涉是什麼?認識原理 深入運用 2.光干涉2大類型介紹 3.光干涉應用有哪些?5大範疇 領域廣泛 4.光干涉應用儀器推薦 |
光干涉原理,可涉及到光學、材料科學等多個學科。且在各種技術和工業領域中,也都有著廣泛的應用,例如:光學儀器的校準、生物醫學成像與精密的物質測量等。當兩束或多束同頻率的光波在相同的空間中重疊時,由於它們的相位差異,會產生明暗交替的干涉條紋。而這種現象不僅揭示了光的波動性,更為現代科技帶來了無數的校準與應用的可能性!
光干涉是什麼?認識原理 深入運用
所謂的「光干涉」,是指光波在空間中相遇或疊加時,由於光波特性而產生的干涉現象。而「光干涉」是一種波動現象,此現象可以用「波動光學理論」來解釋,其核心概念包括以下幾點:-
光波的疊加
-
相位差
-
干涉條紋
-
自然界中常見的干涉現象
光干涉2大類型介紹
類型 | 說明 |
---|---|
建設性干涉 | 建設性干涉發生在光波疊加時增強振幅,形成明亮的區域 |
破壞干涉 | 破壞干涉則是振幅相消,形成暗淡的區域;光的波長越大,形成的干涉圖案亮紋寬度會越大 |
光干涉應用有哪些?5大範疇 領域廣泛
光干涉原理,在許多領域都有應用,例如:干涉儀器、干涉光柵等。而著名的干涉實驗有:楊氏雙狹縫實驗和邁克生干涉儀(Michelson interferometer)。 這些實驗和應用,皆有助於研究光波的性質,以及應用於測量、圖像處理和科學研究等領域。光干涉原理可應用於多種檢測和測量領域,常見的應用有以下5種:
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薄膜厚度測量
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折射率測量
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表面形狀測量
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光學元件檢測
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其他應用
光干涉應用儀器推薦
以光干涉法來量測薄膜厚度及折射率等技術,目前已十分成熟。尤其是在半導體光學元件、光學薄膜的製程或材料的研發實驗室裡,皆可見到顯微分光量測儀。而非接觸式的量測可同時量測反射率、膜厚及光學係數;達到即時監控的目的,且不會傷害樣品,快速且精準的達成量測目標。光學式膜厚計的準確度,可以根據不同的儀器類型、設計和製造品質而有所不同。一般來說,光學式膜厚計的準確度,分為以下6個面向:
👉 分辨率(Resolution)
指儀器,能夠區分的最小膜厚變化。高分辨率的膜厚計,能夠檢測較小的膜厚變化,提供更精確的結果。👉 靈敏度(Sensitivity)
靈敏度,是表示儀器對膜厚變化的敏感程度。擁有較高的靈敏度,就意味著儀器可以檢測到較小的膜厚變化,從而提高測量的準確度。👉 測量範圍(Measurement Range)
測量範圍,指的是儀器可以測量的膜厚範圍。通常,較大的測量範圍可應對不同厚度的薄膜樣品。但在極端情況下,測量範圍過大可能會影響準確度。👉 校正
光學式膜厚計的準確度,還會受到校正的影響。定期的校正,可以確保儀器的準確性。因為光學元件和訊號處理系統,可能會隨著時間變化或受到環境影響而產生誤差。👉 光源穩定性
儀器所使用的光源穩定性,對準確度來說也很重要。光源的穩定性,可直接影響到干涉條紋的穩定性,從而影響膜厚計的準確度。👉 材料特性和複雜度
膜厚計的準確度,也取決於被測量材料的特性和複雜度。不同的薄膜結構,可能會導致不同的干涉模式,是需要適當的方法來處理。顯微分光膜厚量測儀OPTM,在薄膜的膜厚量測上有優異的表現,從1奈米薄膜的厚度、到數十微米厚膜量測;具備多層膜堆疊結構、長時間量測穩定性、不受透明基板背反射影響等等,相較於傳統橢圓偏光儀快速且精準的量測頗為業界推崇。想知道更多關於光干涉的相關資訊,也可以技術文章看看喔!
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