產品特色

穿透率、色度、光學濃度、膜厚、反射率、線寬等測量，完整支援彩色濾光片製程中檢測評價

擁有業界標竿水準的量測穩定性，對應任何世代尺寸的優異光學量測設備

全自動對焦、全自動畫素搜索定位功能，微距光學口徑的高精度測量，支援全自動檢查

對應噴墨式塗布(Inkjet Printer)製程的全畫素量測

量測項目

彩色濾光片量測 ・色度量測（穿透率光譜分析） ・色度（XYZ、 xy、 Lab、 L*a*b*、 u’v’、 u*v*） ・色差、白平衡 ・反射率※ ・光學濃度（OD）※ ・畫素線寬（CD）※ ・全自動對焦、畫素位置搜索※ 膜厚量測 ・多層膜量測、薄膜量測 ・波峰-波峰(P-P)、波峰-波谷法(P-V)、快速傅立葉轉換法(FFT)、非線性最小平方法(Curve Fitting) Review異物檢查 ・樣品欠陷、凝膠、粉塵附著等異物Review檢查※ ※選配功能

規格樣式

	LCF-Series
樣品對應尺寸※	50mm × 50mm 以上
檢測器	多通道分光光譜儀、光電子倍增管（選配）
影像處理	CCD攝影機、專用螢幕 全自動對焦、畫素位置搜索
樣品台	全自動或手動X-Y-Z軸量測樣品（全自動樣品為電控驅動）

※可對應大型尺寸玻璃基板（2000mm×2000mm以上）

噴墨式塗布量測

以下為使用□130*465um 與 □60*230um 兩種量測口徑，對噴墨式塗布製程所產生的畫素色暈現象進行量測

應用範圍

RGB彩色濾光片、ITO導電薄膜、 PI配向膜、PR膜、OC保護膜、BM黑色光阻、Review異物檢查

量測範例

RGB彩色濾光片色度量測