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膜厚光譜分析儀系統MCPD-Series

  • 種類
  • 膜厚
  • 分光
  • 感光鼓
  • LB
  • 蒸餾
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MCPD-Series

光譜儀(MCPD-9800/MCPD-3700/MCPD-7700)
提供豐富選配套件以及客製化光纖,
可依據安裝現場需求評估設計,是一套可靈活架設於各種環境下的最佳即時量測系統

分光光譜儀種類

MCPD-9800:高動態範圍分光

MCPD-6800:紫外/可見/近紅外光分光光譜儀

MCPD-7700:高感度分光

膜厚量測

半導體晶圓膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜) 光阻剝離液厚度、濕狀薄膜 塗佈膜(Coating膜、蒸鍍膜、接著劑、壓克力樹脂、光碟片膜層、薄膜磁頭) 樹脂膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、機能性薄膜、包裝膜 系統架構 量測範例

膜厚量測(分光光譜儀 + 顯微鏡)

半導體晶圓膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜) 光阻剝離液厚度、濕狀薄膜 塗布膜(Coating膜、蒸鍍膜、接著劑、壓克力樹脂、光碟片膜層、薄膜磁頭) 樹脂膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、機能性薄膜、包裝膜 系統架構

影印機感光鼓膜厚度量測

半導體晶圓膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜) 光阻剝離液厚度、濕狀薄膜 塗布膜(Coating膜、蒸鍍膜、接著劑、壓克力樹脂、光碟片膜層、薄膜磁頭) 樹脂膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、機能性薄膜、包裝膜 系統架構 量測範例

LB膜量測

系統架構

蒸餾膜量測

系統架構 量測範例

多點膜厚量測

半導體晶圓膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜) 光阻剝離液厚度、濕狀薄膜 塗布膜(Coating膜、蒸鍍膜、接著劑、壓克力樹脂、光碟片膜層、薄膜磁頭) 塑膠膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、機能性薄膜、包裝膜 系統架構 量測範例