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LineScan 線上膜厚檢查裝置

不是X光也不是紅外線,
採用光譜干涉式
實現無須校正線的線上膜厚全面檢查
產品特色
採用linescan全幅寬掃描的線上膜厚機
軟硬體獨自開發光學系統
高精度全幅掃描(取得專利)
高速量測全膜面內分布(最短0.01秒)
1台使用時對應幅寬為50cm(多台使用最大10m)

規格樣式
LineScan 線上膜厚檢查裝置 | |
波長範圍 | 400 ~ 920 nm |
膜厚量測範圍 | 2 ~ 250 μm※1 |
量測幅寬 | 500 mm |
量測時間 | 10msec ~ |
樣品尺寸 | TD方向最大10m(設置多台時) |
重量 | 約4kg |
※1膜厚值為 n = 1.5 膠膜換算
量測範例
