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LineScan 線上膜厚檢查裝置
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不是X光也不是紅外線，
採用光譜干涉式
實現無須校正線的線上膜厚全面檢查
產品特色
採用linescan全幅寬掃描的線上膜厚機
軟硬體獨自開發光學系統
高精度全幅掃描（取得專利）
高速量測全膜面內分布（最短0.01秒）
1台使用時對應幅寬為50cm（多台使用最大10m）
產品介紹影片
規格樣式
| LineScan 線上膜厚檢查裝置 | |
| 波長範圍 | 400 ~ 920 nm |
| 膜厚量測範圍 | 2 ~ 250 μm※1 |
| 量測幅寬 | 500 mm |
| 量測時間 | 10msec ~ |
| 樣品尺寸 | TD方向最大10m（設置多台時） |
| 重量 | 約4kg |
※1膜厚值為 n = 1.5 膠膜換算
量測範例
