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桌上型橢圓偏光儀FE-5000S

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FE-5000S

高速橢圓偏譜儀
最適用於膜厚、膜質管理

產品特色

400波長以上多通道分光的橢偏儀,高速量測橢圓偏光光譜

自動變更反射量測角度,可得到更詳細的薄膜解析數據

採用正弦桿自動驅動方式,展現量測角度變更時優異的移動精度

搭載薄膜分析所需的全角度同時量測功能

可量測晶圓與金屬表面的光學常數(n:折射率、k:消光係數)

量測項目

橢圓參數量測(tanΨ、cosΔ)

光學常數解析(n:折射率、k:消光係數)

多層膜厚分析

規格樣式

FE-5000S
樣品對應尺寸 100 × 100mm
量測方式 偏光片元件迴轉方式
入射/
反射角度範圍
45 ~ 90°
入射/
反射角度驅動
方式
反射角度可自動變更
波長量測範圍 300 ~ 800nm
分光元件 Poly-chrometer
尺寸 650(H) × 400(D) × 560(W)mm
重量 約50kg