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桌上型橢圓偏光儀FE-5000S

高速橢圓偏譜儀
最適用於膜厚、膜質管理
產品特色
400波長以上多通道分光的橢偏儀,高速量測橢圓偏光光譜
自動變更反射量測角度,可得到更詳細的薄膜解析數據
採用正弦桿自動驅動方式,展現量測角度變更時優異的移動精度
搭載薄膜分析所需的全角度同時量測功能
可量測晶圓與金屬表面的光學常數(n:折射率、k:消光係數)
規格樣式
FE-5000S | |
樣品對應尺寸 | 100 × 100mm |
量測方式 | 偏光片元件迴轉方式 |
入射/ 反射角度範圍 |
45 ~ 90° |
入射/ 反射角度驅動 方式 |
反射角度可自動變更 |
波長量測範圍 | 300 ~ 800nm |
分光元件 | Poly-chrometer |
尺寸 | 650(H) × 400(D) × 560(W)mm |
重量 | 約50kg |