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桌上型橢圓偏光儀FE-5000S
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高速橢圓偏譜儀
最適用於膜厚、膜質管理
產品特色
400波長以上多通道分光的橢偏儀，高速量測橢圓偏光光譜
自動變更反射量測角度，可得到更詳細的薄膜解析數據
採用正弦桿自動驅動方式，展現量測角度變更時優異的移動精度
搭載薄膜分析所需的全角度同時量測功能
可量測晶圓與金屬表面的光學常數（n:折射率、k:消光係數）
量測項目
橢圓參數量測（tanΨ、cosΔ）
光學常數解析（n:折射率、k:消光係數）
多層膜厚分析
規格樣式
| FE-5000S | |
| 樣品對應尺寸 | 100 × 100mm |
| 量測方式 | 偏光片元件迴轉方式 |
| 入射/ 反射角度範圍 |
45 ~ 90° |
| 入射/ 反射角度驅動 方式 |
反射角度可自動變更 |
| 波長量測範圍 | 300 ~ 800nm |
| 分光元件 | Poly-chrometer |
| 尺寸 | 650（H） × 400（D） × 560（W）mm |
| 重量 | 約50kg |
