橢圓偏光量測儀FE-5000S

產品資訊

橢圓偏光儀特長

◉nm薄膜之膜厚測量：以非接觸非破壞性測量多層膜厚
◉材料表面的光學係數(n,k)之測量：在膜厚管理、膜質管理上,提供實用之情報
　膜厚,光學係數(n:折射率,k:消衰係數), Ellipso Parameter(Tanψ及cosΔ)]
◉採用400ch以上的光譜橢圓法、能迅速地測量Spectrum Spectrum point數極多,能很正確的測量急峻變化之Ellipso Spectrum
◉由於反射角度為可變（正弦桿 (Sine Bar) 自動驅動方式）,更能充份對應出高精度分析
◉可對應至客戶端依分析之材料物性和多層膜厚等之高度評價工程：
　依“有效媒質近似”(EMA),能測量複素折射率之波長分散値、混合結晶之混合比、界面之厚度等等
　依照各種光學係數函數和膜Model之分析,能充份對應薄膜界面等之材料物性評價工程

橢圓偏光儀量測項目

橢圓參數量測(tanψ、cosΔ)
光學常數分析(n、k)
多層膜厚分析

橢圓偏光儀和顯微分光膜厚計OPTM的功能比較

📖【光學膜厚量測】『顯微分光法』與『橢圓偏光法』有什麼不同?→

量測原理

橢圓偏光法

橢圓偏光法的基本原理是將光入射於物質，藉由物質之介電性質所造成的反射光偏振變化，以取得材料光學特性與表面覆膜之厚度。一般而言，光照射在物質時，入射光與反射光的偏振狀態不會相同。藉由此偏振狀態的差異，可測得反射表面的狀態。對入射光與反射光所形成的面，平行之光波振幅稱之為P偏振光，垂直之光波振幅稱之為S偏振光。
一般未帶有偏振特性的光，在通過45度傾斜的偏光片後，P與S偏振光的相位會相同，強度也會成為1：1的直線偏振光。這道直線偏振光在照射物質後所產生的反射光，會與照射前的P與S偏振光間產生相位差Δ。由於照射在物體表面的P與S偏振光的反射率相異，P與S偏振光的反射光強度亦不會相同。將P與S偏振光的相位差値代入△，反射振幅比為tanψ，可參考如下的公式與。

規格樣式

	FE-5000S
樣品對應尺寸	100*100mm
量測方式	偏光片元件旋轉方式
入射/反射角度範圍	45-90度
入射反射角度驅動方式	反射角度可自動變更
波長量測範圍	300-800nm
分光元件	Polu chrometer
尺寸	650(H)*400(D)*560(W)mm
重量	約50公斤