產品特色

橢圓偏振術量測紫外光到可見光波長橢圓參數

0.1nm以上奈米級光學薄膜厚度量測

400波長以上多通道分光的橢偏儀，高速量測橢圓偏光光譜

可自由變換反射量測角度，得到更詳細的薄膜解析數據

非線性最小平方法解析多層膜、光學常數

量測項目

量測橢圓參數（tanΨ、cosΔ）

解析光學常數（n:折射率、k:消光係數）

多層膜厚解析

規格樣式

	FE-5000
膜厚量測範圍	0.1 nm ~
波長量測範圍	250 ~ 800nm（可選擇350~1000nm）
感光元件	光電二極管陣列512ch（電子制冷）
入射/ 反射角度範圍	45 ~ 90°
電源規格	AC1500VA（全自動型）
尺寸	1300（H） × 900（D） × 1750（W）mm
重量	約350kg（全自動型）

量測範例

非線性最小平方法比對NIST標準樣品（SiO2）膜厚精度確認

上圖為量測NIST標準樣品SiO2薄膜tanΨ＆cosΔ光譜圖。
根據NIST所提出報告書中記載，此標準樣品膜厚值為96.9nm。
使用橢圓偏光儀 FE-5000所測得膜厚值為96.9nm，結果與標準樣品膜厚值幾乎一致。

※ NIST標準樣品：（VLSI Standard Inc. FTS4-1000）。
※ 標準樣品膜厚值為使用NIST所認證之橢偏儀的量測結果。

應用範圍

半導體晶圓：電晶體閘極（Gate）氧化薄膜、氮化膜，電極材料等・SiO2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al2O2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN・光阻劑光學常數（波長色散）

化合物半導體：AlxGa（1-x）As多層膜、非結晶矽

平面顯示器：配向膜・電漿顯示器用ITO、MgO等

新材料：類鑽碳薄膜（DLC膜）、超傳導性薄膜、磁頭薄膜

光學薄膜：TiO2、SiO2、多層膜、抗反射膜、反射膜

平版印刷領域：g 線（436nm）、h 線（405nm）、i 線（365nm）、KrF（248nm）等於各波長的n、k值評價