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反射式膜厚量測儀FE-3000後續機種 → OPTM series

光干涉式膜厚計
~薄膜到厚膜的完美對應~
產品特色
非接觸式、不破壞樣品的光干涉式膜厚計
高精度、高再現性量測紫外到近紅外波長反射率光譜,分析多層薄膜厚度、光學常數
(n:折射率、k:消光係數)
寬闊的波長量測範圍。(190nm ~ 1600nm)
薄膜到厚膜的膜厚量測範圍。(1nm ~ 1mm)
對應顯微鏡下的微距量測口徑(最小spot約5μm)
量測項目
絕對反射率分析
多層膜解析
光學常數(n:折射率、k:消光係數)
規格樣式
標準型 | 厚膜型 | 超厚膜型 | |||
量測波長範圍 | 190 ~ 760 nm | 230 ~ 800 nm | 330 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm | 1490 ~ 1590 nm |
對應膜厚範圍 | 1nm ~ 40μm | 1μm ~ 240μm | 80μm ~ 1mm | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |||
光源規格 | D2(紫外光)、I2(可見光)、D2+I2(紫外-可見光) | ||||
電源規格 | AC100V±10V 750VA(自動樣品台規格) | ||||
尺寸 | 481(H)×770(D)×714(W)mm(自動樣品台規格之主體部分) | ||||
重量 | 約96kg(自動樣品台規格之主體部分) |
量測範例
玻璃上二氧化鈦膜厚、膜質分析


應用範圍
FPD:LCD、TFT、OLED(有機EL)
半導體、複合半導體:矽半導體、半導體雷射、強誘電、介電常數材料
資料儲存:DVD、磁頭薄膜、磁性材料
光學材料:濾光片、抗反射膜
平面顯示器:液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED
薄膜:AR膜
其它:建築用材料