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嵌入式膜厚量測儀
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對應大型平台及自動搬送系統
可配合各種線上檢查方式
產品特色
自由搭配的光纖架構，可安裝於生產線上、半導體晶圓研磨設備或真空鍍膜設備中
遠端同步控制、高速多點同步量測等
豐富多樣的光學系統套件與應用軟體，提供特殊環境下最理想的膜厚解決方案
量測項目
膜厚
屈折率(n)
消光係數(k)
絕對反射率
規格樣式
| FE | |
| 膜厚量測範圍 | 20nm ~ 2000μｍ※1 |
| 波長量測範圍 | 430nm ~ 1600nm※2 |
| 樣品對應尺寸 | 客製化 |
| 光學系統 | 光纖 + 透鏡 |
| 量測口徑 | 約ø1.2mm |
※1隨光譜儀種類不同,厚度量測範圍不同
※2隨光譜儀種類不同
系統架構圖
