崁入式膜厚量測儀

一體式薄膜厚度計,使用光纖輕鬆集成到晶圓工藝的磨削和沉積設備中。
遠端同步控制、高速多點同步量測等
豐富多樣的光學系統套件與應用軟體,提供特殊環境下最理想的膜厚解決方案

量測項目

  • 膜厚

產品資訊

產品特色
● 自由搭配光纖,建構最理想的光學系統
● 遠隔測量、高速多點量測
● 可架設於生產線上或其他設備中,進行樣品全數檢測
● 提供豐富多樣的選配套件與應用軟體
 
裝置構成
  
 

規格樣式

膜厚量測範圍20nm-10um (膜厚值為光學膜厚nd) 20nm-10um (膜厚值為光學膜厚nd)
波長量測範圍 430-650nm
樣品對應尺寸 客製化
光學系統 光纖+透鏡 (嵌入式)
量測口徑 約φ1.2mm
量測時間 0.08秒~10秒
Application

產業應用

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