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SM
SMART手持式光學膜厚計
⭕高精度、非破壞、手持式光學膜厚計⭕
●可攜帶到現場的手持式輕量機型(約1.1Kg)
●0.1μm單位的量測精度,0.01μm的重複精度
●以非破壞式量測各類形狀的樣品
●不限定基材材質，可量測coating膜層
●不需要量測經驗，可快速得到精準的膜厚結果
●可攜帶到現場的手持式輕量機型(約1.1Kg)
●0.1μm單位的量測精度,0.01μm的重複精度
●以非破壞式量測各類形狀的樣品
●不限定基材材質，可量測coating膜層
●不需要量測經驗，可快速得到精準的膜厚結果
量測項目
- 膜厚
產品資訊
SMART手持式膜厚計產品特色 |
📌可攜帶到現場的手持式輕量機型(約1.1Kg)
•輕量、便利•可在現場直接量測
📌0.1μm單位的量測精度、0.01μm的重複精度
•遠高於任何手持式膜厚計的高精度📌以非破壞式量測各類形狀的樣品
•曲面•複雜形狀
📌不限定基材材質，可量測coating膜層
•高分子、玻璃等也OK
SMART手持式膜厚計與其他膜厚計的比較 |
-
與桌上型光學膜厚計相比..
👍SMART膜厚計在"現場"以非破壞式直接量測樣品，且可以量測特殊形狀樣品。
-
與接觸式膜厚計相比..
👍SMART膜厚計不僅不會破壞您的樣品，也不會因為使用者不同而產生誤差且遠高於接觸式膜厚計的量測精度。
-
與渦電流/電磁式膜厚計相比..
👍SMART膜厚計不需要製作檢量線，且可以量測非金屬基材並且得到絕對值!
不需要量測經驗，可快速得到精準的膜厚結果 |
規格樣式
| SMART手持式膜厚計規格 | |
|---|---|
| 量測原理 | 反射分光法(光干涉法)、非破壞性量測 |
| 膜厚量測範圍 | 1~50μm(顯示上限60μm) |
| 重複精度 | 2.1σ 0.01μｍ（SiO2膜１μｍ） |
| 量測時間 | 1秒內 |
| 量測Spot | Φ1ｍｍ以下 |
| 重量 | 約1.1kg |
選配
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■筆型探頭
能夠測量狹窄區域或形狀的樣品。 -
■非接觸式載台
對於濕膜或半導體晶圓等不想接觸的樣品，可以透過自由設定探頭位置進行非接觸測量。 -
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使用場景
產品開發-量測試作品
1.攜帶到合作廠商等，直接在現場量測效率Up
2.試作階段的檢查方法商定效率Up
2.試作階段的檢查方法商定效率Up
產線-設定產線參數、提高良率
1.現場可直接量測，無須準備，量測時間短、效率Up
2.產品檢查的早期階段發現問題,事後的對策更加靈活
2.產品檢查的早期階段發現問題,事後的對策更加靈活
品質管理-品管效率Up
1.現場可直接量測高精度量測成品，盡早發現不良品異狀
2.事後的對策可更加靈活
2.事後的對策可更加靈活
After Service-活用可攜帶的優點
在產品出貨後的客戶端也可直接帶去量測。
現場較難量測的立體物、無法切割破壞的樣品(例如:窗戶的Coating等)。
現場較難量測的立體物、無法切割破壞的樣品(例如:窗戶的Coating等)。
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