LineScan線上膜厚檢測系統

產品資訊

Line scan量測原理

◎採用Line Scan方式，實現無"遺漏"的全面Film檢查

以往的自動量測方式，於薄膜製程的膜厚是點的量測，無法做全面檢查。
不符合標準的周圍部分全部切除廢棄，提升良率及生產效率是需要克服的課題。
Line scan採用影像感測器(Image sensor)，將取得的光信號轉換成類比信號的量測方式。
相較於市面上常見的X光以及紅外線量測方式，大塚所採用的光譜干涉方式除了可完整對應生產線上的即時量測需求外，搭配獨家專利的膜厚演算處理技術也提供了具備高度信賴性的量測精度。
目前Line Scan系列(線量測)主要適用於全幅寬的膜厚檢測用途，以往採用光譜儀搭配光纖或者是顯微鏡系統的量測設備(點量測)僅能針對單一點位或區域進行膜厚檢測，如要進行全面膜厚均勻性檢測的場合通常就需要採用密集點位量測方式來應對。
整體量測不僅耗時費工,如發生工程品質不良問題也不容易進行產線追溯。

◎膜厚量測專業製造商才能提供的完善厚量測系統

　LineScan方式的膜厚計，採用獨自開發的光干涉法的組合高速、高精度膜厚演算技術，實現最短0.01秒間隔，500mm幅寬(使用1台時)的全面膜厚量測。 
　寬幅度的薄膜也可裝置多台檢出器得到相同的結果。

LineScan量測實際案例

◎LineScan方式的檢查方式，可達成全幅、全長的量測，精準判斷在膜厚基準外的部分。

　不易受到薄膜的分布及皺褶影響，期待貢獻在各個領域上薄膜品的品質管理上更加精進。

• 特色1:藉由1次影像擷取來取得即時的2維光譜
• 特色2:具備高度空間解析以及波長解析能力

 

LineScan線上膜厚檢測系統軟體畫面

⦿薄膜的厚度 (全幅、全長量測)​​​​​

 

LineScan線上膜厚檢測系統量測對象

⦿光學薄膜、膠粘膜、包裝薄膜、導電薄膜



 

規格樣式

	InLine樣式	OffLine樣式
膜厚範圍	0.1～300 μm
量測幅寬	500 mm～最大 10 m	250 mm
量測間隔	1 ms～
尺寸(W×D×H）	81×140×343 mm	459×609×927 mm
重量	4 kg(量測頭部分)	60 kg
電源	AC100 V±10% 125VA

 

InLine樣式

 一連検出器（TD: max.500mm）
  三連検出器（TD:max.1500mm）

OffLine樣式

量測範例