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崁入式膜厚量測儀
一體式薄膜厚度計，使用光纖輕鬆集成到晶圓工藝的磨削和沉積設備中。
遠端同步控制、高速多點同步量測等
豐富多樣的光學系統套件與應用軟體，提供特殊環境下最理想的膜厚解決方案
遠端同步控制、高速多點同步量測等
豐富多樣的光學系統套件與應用軟體，提供特殊環境下最理想的膜厚解決方案
量測項目
- 膜厚
產品資訊
| 產品特色 |
● 遠隔測量、高速多點量測
● 可架設於生產線上或其他設備中，進行樣品全數檢測
● 提供豐富多樣的選配套件與應用軟體
| 裝置構成 |
規格樣式
| 膜厚量測範圍20nm-10um (膜厚值為光學膜厚nd) | 20nm-10um (膜厚值為光學膜厚nd) |
| 波長量測範圍 | 430-650nm |
| 樣品對應尺寸 | 客製化 |
| 光學系統 | 光纖+透鏡 (嵌入式) |
| 量測口徑 | 約φ1.2mm |
| 量測時間 | 0.08秒～10秒 |
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