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in-situ膜厚量測 (GS)
以CVD&PVD或是各種成模的的方式形成閘極的電極層（多結晶Si膜等）、閘極絕緣膜（氧化膜、氮化膜等）、層間絶縁膜（氧化膜）、光阻膜等膜厚管理有其必要。提供從納米等級高精度膜厚測定與膜質測定（光學常數）。
