膜厚量測-實測量測一整片晶圓面內49點分布需要多久時間?

光學膜厚量測有不少方法,為了得到想要量測的目標膜層奈米級精度,必不可少的一個動作就是對焦。 今天我們就來實測看看一整片晶圓面內49點要花多久的時間。