陶瓷鈦酸鋇材料膜厚量測

用於陶瓷電容器之鈦酸鋇材料,具有高介電係數、高電阻率及低汙染等特性,廣泛用於陶瓷電容器、電阻器方面。 為提升品質,準確監控材料膜厚成為必然。 將鈦酸鋇塗於PET基材上,以膜厚儀掃幅寬方向20點位置,即可得到全膜幅寬之厚度分布情形,可有效監控全面厚度。   白色粗糙材質容易造成光散亂,使光學式干涉波形無法完整呈現;故使用近紅外光波長段,降低材質造成干擾,量測其厚度。   量測條件MCPD-9800(916)+Fiber 量測項目:反射膜厚 波長範圍:900~1600nm 自動曝光時間:16ms 積算回數:4 測定spot size:4mm  

量測結果

單層鈦酸鋇以n2.3代入FFT法解析,樣品厚度約為7μm 幅寬方向20點厚度分布清楚可見,中間厚兩端薄      

薄膜鈦酸鋇及再現性

即使厚度僅有0.8μm也可直接測得 同一點連續量測10次再現性 連續量測十次再現性,跳動性僅有0.3nm、樣品厚度的0.01%。  

使用高感度光譜儀量測鈦酸鋇等陶瓷材料厚度,可快速準確量得單點及面內多點厚度分布情況。