DLC(類鑽石)膜之應用

碳是自然界中最豐富的元素之一。各種碳的同素異形體也被廣泛使用在各種產業中。 其中DLC(類鑽石)膜是一種非晶形碳材,因為高硬度、耐磨耗、高化學穩定性等等性質,廣泛應用於鑽頭、切削工具、機械零件等等表面塗層。一般能藉由調控DLC膜製程參數控制膜層中sp3鍵比例,達到想要的機械性質。 DLC膜層的厚度也會影響到該膜層的物理性質,其中各種工具(e.g.鑽頭、零件等等)因為表面形狀大多不會是平整的,以一般平行光的白光干涉儀或是橢圓偏光儀因為光徑較大(大多為mm等級)無法量測有結構的表面。 大塚電子OPTM系列搭載顯微鏡,最小光徑約3μm,可適用於不規則的表面膜厚量測。 圖1:DLC膜應用於各種零件及工具上 圖2:膜厚量測結果範例  

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