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電漿感測片的色差 (MCPD-9800)
利用電漿進行乾蝕刻過程中,若電漿不均也會使成品的良率下降。利用視覺的顏色變化型晶圓,使用量測系統將色差數值化進行高精度加工。
利用電漿進行乾蝕刻過程中,若電漿不均也會使成品的良率下降。利用視覺的顏色變化型晶圓,使用量測系統將色差數值化進行高精度加工。