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結晶成長層厚度 (OPTM series & SF-3)

為生成特定厚度的結晶成長膜,厚度管理是極為重要的。因厚度不均而產生的不良品無法得到想要的特性。光干涉式膜厚量測儀以非接觸、非破壞、高精度的方式量測管理結晶成長膜的厚度。