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In-situ膜厚量測
SF-3可以量測貼有保護膠或是支撐基板貼合厚的晶圓研磨即時監控量測。研磨中量測到的厚度數據與研磨裝置進行通訊,當達到目標厚度時停止研磨。
SF-3可以量測貼有保護膠或是支撐基板貼合厚的晶圓研磨即時監控量測。研磨中量測到的厚度數據與研磨裝置進行通訊,當達到目標厚度時停止研磨。