HOME 製品事例 貼合wafer厚度 貼合wafer厚度 支撐基板使用黏接材料貼合的矽晶圓厚度量測範例。黏接層的厚度均勻度會影響到研磨時Si的均勻度,因此黏階層的厚度均勻度需要做管理。 相關產品 分光干涉式WAFER膜厚計SF-3