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in-situ膜厚量測 (GS)

CVD法、PVD法等各種製程所生成的膜(多結晶Si膜、氧化層、氮化層、光阻層等等)的膜厚管理裝置。提供奈米等級的高精度膜厚及膜質(光學常數)量測。