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顯微分光膜厚計OPTM series

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OPTM series

 非接觸・非破壞・顯微
                對焦加測定時間1秒

產品特色

非接觸式膜厚測定必要的機能集中在一個量測頭

高精度、高再現性量測紫外到近紅外波長絕對反射率光譜,分析多層薄膜厚度、光學常數
(n:折射率、k:消光係數)

單點對焦加量測於1秒內完成

顯微分光下廣範圍的光學系統(紫外 ~ 近紅外)

初學者也能輕鬆解析的初學者解析模式

獨立測定頭對應各種inline客製化需求

最小對應spot約5μm

量測項目

絕對反射率分析

多層膜解析

光學常數(n:折射率、k:消光係數)

規格樣式

OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長範圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚範圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
測定時間 1秒 / 1點
光徑大小 10μm (最小約5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規格 氘燈+鹵素燈 鹵素燈
電源規格 AC100V±10V 750VA(自動樣品台規格)
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品台規格之主體部分)
重量 約 55kg(自動樣品台規格之主體部分)

量測範例

高透明度基材的裏面反射

高透明度基材的裏面反射

一般膜厚量測儀在量測高分子膜或玻璃等透明基材時,會受到最基材底層反射光影響而無法量測。
OPTM使用專利鏡頭,物理性去除透明基板的裏面反射進行高精度測定。
另外,SiC或PET等具有光學異方性基材,也能不受影響進行測定。 (專利取得 第5172203号)

紫外光的極薄膜測定

紫外光的極薄膜測定

近紅外光的有色膜測定

近紅外光的有色膜測定

初學者也能輕鬆解析的初學者解析模式

初學者也能輕鬆解析的初學者解析模式

藉由對話形式簡單測定分析膜厚

自動XY stage規格,面內25點測定1分內完成

藉由對話形式簡單測定分析膜厚

應用範圍

FPD:LCD、TFT、OLED(有機EL)

半導體、複合半導體:矽半導體、半導體雷射、強誘電、介電常數材料

資料儲存:DVD、磁頭薄膜、磁性材料

光學材料:濾光片、抗反射膜

平面顯示器:液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED

薄膜:AR膜

其它:建築用材料