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嵌入式膜厚量測儀FE-3

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嵌入式膜厚量測儀

對應大型平台及自動搬送系統
            可配合各種線上檢查方式

產品特色

自由搭配的光纖架構,可安裝於生產線上、半導體晶圓研磨設備或真空鍍膜設備中

遠端同步控制、高速多點同步量測等

豐富多樣的光學系統套件與應用軟體,提供特殊環境下最理想的膜厚解決方案

量測項目

膜厚

屈折率(n)

消光係數(k)

絕對反射率

規格樣式

FE-3
膜厚量測範圍 20 mm ~ 2000μm※1
波長量測範圍 430 nm ~ 1600 nm※2
樣品對應尺寸 客製化
光學系統 光纖 + 透鏡
量測口徑 約ø1.2 mm

※1隨光譜儀種類不同,厚度量測範圍不同

※2隨光譜儀種類不同

系統架構圖

半導體晶圓面內分佈量測,玻璃基板面內分佈量測 即時性量測,輸送方向的定點品質管理,對應真空環境之設備 即時性量測,輸送方向的全面品質管理